이트론, SoW 개발 성공 "반도체 생산공정 최적화로 경쟁력↑"

서버 및 스토리지 전문기업 이트론 이 반도체 생산 공정의 모니터링 센서 시스템인 '센서 온 웨이퍼'(이하 SoW)의 개발에 성공했다.

13일 반도체 업계에 따르면 이트론은 SoW 모니터링 시스템 관련 30여종의 국내외 특허를 보유하고 있다. 또 SoW 출시를 위해 제품 테스트 및 모니터링 시스템 운영 프로그램 개발도 완료했다.

SoW는 반도체 제조에 필수적으로 사용되는 모니터링 센서 시스템이다. 반도체 부품의 크기, 정밀성, 정확성 등을 결정하는 핵심공정인 에칭 공정내 온도 및 플라즈마상태 등을 측정하여 공정을 실시간으로 모니터링 할 수 있다. 이를 통해 반도체 생산공정 조건을 최적화하여 생산성과 성능을 향상시킬 수 있다.

그동안 SoW는 미국 업체가 독점 공급하고 있었으나 2017년 반도체 경쟁력 확보를 차원에서 국책과제로 연구가 시작됐다. 이트론은 SK하이닉스와 한국표준기술연구원, 나노종합기술원, 연세대, 광운대가 함께 산학협력을 통해 연구를 시작해 원천기술을 확보했다. 또 2020년 국가과제가 종료된 이후에도 지속적으로 연구개발을 진행하여 기술적인 완성도를 높였다.

이트론은 개발한 SoW에 대해 해외 반도체 제조업체와 장비사로부터 필드 테스트 요청을 받아 구체적인 일정을 조율하고 있다. 특히 기존의 미국 업체와 비교해 차별화된 제품 라인업과 가격 경쟁력을 갖추고 있다고 회사 측은 강조했다.

또 SoW 개발 성공으로 이트론의 자체 개발력에 대한 관심도 높아질 전망이다. 이트론은 극저온 센서의 양산화를 추진 중이고, 내년 플라즈마 센서 출시를 목표로 개발을 진행 중이다.

이트론 관계자는 "국산 SoW 센서를 활용해 반도체 생산성과 성능의 지속적인 향상을 기대할 수 있으며, 가격 경쟁력도 확보할 수 있다"며 "이번 기술개발 성공은 국내 반도체 산업의 경쟁력 강화에 큰 역할을 할 것으로 기대된다"고 말했다.