SK하이닉스 투자한 가우스랩스, 반도체 공정 검증 기술 '레벨업'

SK하이닉스가 투자한 산업용 AI기업 '가우스랩스'가 출시한 'Panoptes VM(Virtual Metrology)' 2.0 버전. / 사진 =SK하이닉스 제공

SK하이닉스가 투자한 산업용 AI(인공지능) 전문 기업 '가우스랩스'가 '파놉테스 VM 2.0'을 출시했다고 13일 밝혔다.

파놉테스 VM은 장비에 설치된 센서에서 수집한 데이터로 제조 공정 결과를 예측하는 AI 기반의 가상 계측 솔루션이다. 이 솔루션을 적용하면 물리적인 전수 계측 없이도 모든 제품의 공정 결과값을 예측할 수 있어 시간과 자원 소비량을 줄일 수 있다.

SK하이닉스는 가우스랩스가 출시한 파놉테스VM 1.0을 2022년 12월부터 양산 팹(생산시설)에 도입해 박막 증착 공정(웨이퍼 위에 얇은 피막을 입히는 공정)에 적용했다.

파놉테스 VM 1.0으로 가상 계측한 결과값을 APC(장비의 최적 공정 조건을 찾아주는 솔루션)와 연동하자 제품의 품질 변동 크기인 공정 산포가 29% 개선됐으며, 수율도 향상됐다.

SK하이닉스는 성능이 개선된 파놉테스 VM 2.0을 식각 공정까지 확대 적용하기로 했다. 식각 공정은 부식액으로 불필요한 부분을 제거하고 반도체 회로 패턴을 만드는 공정으로, 파놉테스 VM의 '멀티 스텝 모델링' 기능을 활용하면 가상 계측의 정확도를 높일 것으로 기대된다.

김영한 가우스랩스 대표는 "가장 정밀한 제조 산업인 반도체 분야에서 의미 있는 결과를 내고 있는 만큼, 산업용 AI 기술력을 바탕으로 글로벌 시장을 개척하겠다"고 말했다.