액침(물에 담그는) 노광공정은 반도체 웨이퍼와 노광기(사진기와 같은 역할) 사이에 물을 투입해 기존에 사용하는 반도체 노광 광원의 파장을 줄임으로써 더 미세한 회로를 새길 수 있는 기술이다.
전 상무는 "전체 반도체 공정에서 약 25 단계의 노광 공정 중에 40나노 공정 전환을 위해 4-5 단계에 이 이머젼 리소그라피로 교체해 40나노 공정으로 전환할 수 있다"고 설명했다.
삼성전자와 함께 하이닉스 (157,100원 ▲4,300 +2.81%)나 일본의 도시바도 40나노급 공정에 이머젼 리소그라피 공정을 도입키로 하고 연구개발에 박차를 가하고 있다.
한편, 이머젼 리소그라피는 반도체 제조공정에서 더 미세한 회로를 새기려면 더 짧은 파장의 광원을 가진 노광기가 있어야 하는데, 이 기술은 기존 노광기에서 약간 변형된 장비로 물의 굴절률을 이용해 파장을 줄이는 것이다.
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어떤 물질의 굴절률이 높으면 빛이 이를 통과할 때 파장이 짧아지는 데서 착안해 공기(굴절률 1.0)보다 굴절률이 높은 물(1.36∼1.44)을 사용하는 방법이다.
이 기술을 이용할 경우 현재 반도체 공정에 사용하는 193나노미터(nm)의 ArF(플루오린 아르곤) 광원의 파장을 134나노미터 정도로 31% 가량 줄일 수 있어 같은 노광장비를 사용하더라도 더 미세한 회로를 새길 수 있는 원리다.