삼성전자, '황의 법칙' 8년째 입증

(상보)30나노 64기가 낸드 개발..20나노까지 전환 가능성 제시

삼성전자가 세계 최초로 30나노 64기가 낸드플래시 개발에 성공했다. 이로써 '반도체 집적도가 매년 2배씩 증가한다'는 '황의법칙'을 8년째 입증했다.

삼성전자 는 23일 업계 최소 선폭(30나노), 최대 용량(64기가)의 반도체를 세계 최초로 제품화했다고 발표했다.

30나노 기술은 머리카락 두께 4000분의 1 정도의 초미세 기술이며 64기가 용량은 세계 인구 65억명의 약 10배에 해당하는 640억개의 메모리 저장 장소가 손톱만한 크기에 집적돼 있다는 의미다.

삼성전자는 지난해 발표한 40나노 32기가 낸드 플래시에 최초 적용된 CTF 기술을 기반으로 하고, 기존의 DPT 대비 차별화 된 삼성의 독창적 DPT 기술을 비롯해 설계·소자·레이아웃 등 최첨단 반도체 기술을 추가로 적용, 30나노급 제품화에 성공했다고 설명했다.

CTF는 기존의 고정 관념을 바꿔 전하를 도체가 아닌 부도체에 저장, 셀간 정보 간섭을 최대한 억제함으로써 작년까지만 해도 한계로로 알려져 왔던 50나노 장벽을 허물고 40나노급 이하에서의 상용화 가능성을 최초로 제시한 기술이다.

삼성전자는 이번 30나노 제품 개발을 위해 CTF와 함께 'SaDPT 기술'을 적용했다. SaDPT 기술은 설비가 가지고 있는 고유의 한계보다 더 미세한 패턴을 실현해 한세대 앞선 공정 제품을 구현할 수 있도록 한 기술, 즉 DPT 기술을 한 단계 더 발전시킨 '삼성만의 독창적 기술'이다.

삼성전자는 이 기술을 20나노급까지도 확대 적용함으로써 추가 투자 없이도 차세대(30나노)는 물론 차차세대(20나노)까지의 공정 전환과 제품화 가능성을 제시했다고 강조했다.


삼성전자는 또 'SaDPT 기술' 도입을 통한 30나노급 제품화 성공은 더욱 가속화되는 반도체 집적도 발전 속도와 현재 일시적으로 이를 따라 오지 못하고 있는 반도체 설비 기술간 불균형 해소에도 기여할 것으로 내다봤다.

삼성전자는 특히 2009년 이후 30나노 제품의 양산을 위해서는 새로운 개념의 반도체 장비 혹은 획기적 공정 기술의 도입이 절실한 상황에서 반도체 산업 전체가 당면한 과제에 매우 적절한 해답을 제공함과 동시에 궁극적으로 기가 이후의 테라 시대 진입을 향한 반도체 산업 전체의 한 단계 도약에도 크게 기여했다고 평가했다.