이번 특허는 기판세정용 이류체 유체분사장치에 관한 것으로,이류체를 기판 표면에 비스듬한 각도로 대칭되게 분사해 기판상 패턴의 음영지대에 부착된 이물질을 제거할 수 있는 특징을 가진다.
케이씨텍, 기판세정용 유체분사장치 특허취득
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케이씨텍 (17,590원 ▲170 +0.98%)은 기판세정용 유체분사장치에 관한 특허를 취득했다고 12일 공시했다.
이번 특허는 기판세정용 이류체 유체분사장치에 관한 것으로,이류체를 기판 표면에 비스듬한 각도로 대칭되게 분사해 기판상 패턴의 음영지대에 부착된 이물질을 제거할 수 있는 특징을 가진다.
회사측은 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치에 대해서도 특허를 취득했다.
이번 특허는 기판세정용 이류체 유체분사장치에 관한 것으로,이류체를 기판 표면에 비스듬한 각도로 대칭되게 분사해 기판상 패턴의 음영지대에 부착된 이물질을 제거할 수 있는 특징을 가진다.
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