2일 업계에 따르면 케이씨텍 (17,590원 ▲170 +0.98%)은 TFT LCD 포토 공정에 필요한 세정기, 코터(코팅장비), 오븐, 디벨로퍼(현상장비) 등을 일체화한 '인라인 코터 시스템(In-Line Coater System)' 개발에 최근 성공했다.
특히 케이씨텍은 LCD 전공정 핵심 장비로 평가받는 스핀레스 코터(Spinless Coater)를 지난해 최초로 국산화함으로써 이 시스템을 개발할 수 있게 됐다. 케이씨텍은 올 하반기 이후 국내 LCD패널 업체로부터 수주를 기대하고 있다.
이순창 케이씨텍 사장은 "세리아 슬러리는 케이씨텍이 국내 최초로 국산화에 성공해 하이닉스에 공급하고 있다"면서 "일본업체가 독점하고 있는 국내 세리아 슬러리 시장의 시장점유율 확대가 예상된다"고 밝혔다.
반도체ㆍLCD용 가스처리장치 생산업체인 케이피씨는 차세대 장비로 각광받고 있는 플라즈마 방식의 가스 스크러버(Gas Scrubber) 개발에 나서고 있다.
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가스 스크러버는 반도체와 LCD를 만들 때 생기는 유해가스를 정화하는 장비로, 가스 종류에 따라 건식, 습식 등으로 나눠진다.
특히 플라즈마 방식의 장비는 가격이 고가이지만 유독가스 대부분을 제거할 수 있고 유지관리비가 적게 든다는 장점 덕분에 관련 업계가 주목하고 있는 장비다.
박승구 케이피씨 전무는 "플라즈마 가스 스크러버는 관련 장비 계통을 평정할 제품으로 손꼽힌다"면서 "현재 95% 개발에 완료한 상태이며 오는 9월 테스트에 들어갈 계획"이라고 밝혔다.
반도체ㆍ발광다이오드(LED) 소재 업체인 티씨케이 (85,300원 ▼500 -0.58%)는 실리콘카바이드(SiC)의 활동도를 제고하고 SiC 코팅 전문기업으로서 확고한 기반을 다지기 위해 금속 표면에 코팅 가능한 SiC 전구체 개발에 나서고 있다.
금속 표면에 SiC를 코팅하게 되면 금속의 내식성, 내열성, 내화학성을 높여 원자력, 반도체, 소각로 등에 쓰일 수 있어 요업기술원 등과 함께 국가지원과제로 추진하고 있다.
이순창 사장은 "다양한 사업을 추진하는 자회사를 통해 제품 개발 및 신규 사업을 추진함으로써 위험부담을 줄이고 매출을 안정적으로 가져갈 수 있다"고 말했다. 이어 "각 부문간 시너지효과를 극대화할 수 있다는 점도 장점"이라고 덧붙였다.