반도체장비, 전략적 해외협력 '봇물'

제이티 케이이엔지 코닉시스템 등... 발빠른 사업확대 및 해외진출 유리

국내 반도체 장비기업들이 해외업체들과 전략적인 제휴에 적극 나서고 있어 관심이 쏠린다.

18일 관련 업계에 따르면 제이티, 코닉시스템, 에스엔유프리시젼, 케이이엔지 등은 미국과 유럽 등 해외업체들과 공동개발 및 기술도입 등 협력에 적극 나서고 있다.

업계 한 관계자는 “국내 장비기업들은 미국과 유럽 등지 업체들과 전략적인 제휴를 통해 선진 장비기술을 도입, 발빠르게 사업영역을 확대하고 해외시장 진출 등을 도모할 수 있다”며 “해외업체들 역시 삼성전자와 하이닉스, LG필립스LCD 등 거대 공급처들이 포진한 한국 내 장비기업들과 협력함으로써, 직·간접적으로 장비를 납품할 수 있는 등 양 측간 시너지효과가 기대된다”고 말했다.

제이티는 내년 상반기에 미국 코헤릭스와 공동개발을 통해 반도체 비전검사장비를 출시할 계획이다.

이 회사 조희진 상무는 “제이티가 보유한 2차원(2D) 비전검사기술에 코헤릭스의 3차원 비전검사기술을 접목하고 있다”며 “번인장비로 반도체를 이송·분류하는 번인소터에 이어, 디스플레이구동칩(DDI) 2차원 비전검사장비 등 검사장비 분야에서 영역확대에 나서고 있다”고 말했다.

코닉시스템은 미국 나노그램으로부터 기술을 도입해 폴리실리콘 증착장비를 개발했다.

이 회사 김승한 팀장은 “태양전지 및 능동형 유기발광다이오드(AM OLED) 공정에 필수적으로 사용되는 폴리실리콘 증착장비를 개발했다”며 “관련 장비를 미국 나노그램에 역수출, 나노그램이 미국과 일본 등 해외시장에 공급할 계획”이라고 말했다.

에스엔유프리시젼 역시 미국 나노메트릭스로부터 전자현미경 기술을 도입해 반도체 측정장비를 개발하고 있다고 밝혔다.

이 회사 관계자는 “빛이 아닌 전자를 광원으로 하는 전자현미경 기술을 이전 받아 내년 하반기 반도체 측정공정에 사용되는 CD(Critical Dimension) 전자현미경을 출시할 계획”이라며 “기존 LCD 나노형상측정장비(PSIS)에 이어 반도체 분야로 측정장비 영역을 확대할 것”이라고 말했다.

이 밖에 케이이엔지는 독일 제놉틱과 함께 레이저 유리기판 본딩장비를 개발한다고 밝혔다.

회사 측은 레이저로 LCD 유리기판을 합착할 수 있는 레이저 유리기판 본딩장비를 개발, 기존 LCD 물류이송·저장장비 등 주변장치에 이어 레이저 유리기판 절단장비 등 공정장비 비중을 확대할 계획이라고 설명했다.