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테스, 박막증착장치 관련 특허 취득
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테스 (24,100원 ▼200 -0.82%)는 박막증착장치 관련 특허를 취득했다고 17일 공시했다. 회사 측은 "이 특허로 공정가스 양을 조절해 박막 두께를 다르게 조절, 박막 품질을 향상시킬 수 있다"며 "반도체 장비에 적용해 제품경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 설명했다.
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