표준연, 반도체용 불화수소 품질평가 시작…소재 국산화 지원

불화수소 순도분석 시험검사 서비스

KRISS 가스분석표준그룹 산업용독성가스분석표준팀이 불화수소 품질평가를 진행하고 있다.© 뉴스1

(대전=뉴스1) 심영석 기자 = 한국표준과학연구원(이하 KRISS)은 국산 불화수소 등 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공했다고 22일 밝혔다.

약 20종에 대해 시험검사 서비스를 진행할 예정이며, 가장 먼저 불화수소에 대한 품질평가를 시작한다.

KRISS는 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응하기 위해 지난해 8월부터 설비 구축을 추진해왔다.

Δ분석 장비비 8억원 Δ시설 구축비 7억원 등 긴급 자체 예산 15억을 사용해 실험실을 완공했다.

KRISS는 이번 실험실 구축을 통해 반도체용 고순도 가스에 대한 신뢰성 있는 시험 결과를 제공할 수 있게 됐다.

국내 반도체용 가스 소재 개발업체와 반도체 제조사 등 관련 산업 전반의 경쟁력 향상이 기대된다.

국내 고순도 불화수소의 순도 검증법은 업체별로 달라서 표준화돼 있지 않다.


KRISS에서 국산 불화수소의 품질평가를 진행할 실험실을 마련하면서, 이를 해결할 수 있게 됐다. 사용되는 측정기술과 표준물질은 KRISS가 자체 개발했다는 점에서 더욱더 큰 의의가 있다.

KRISS는 이와 관련한 표준 시험절차서 개발을 2021년 상반기에 완료하고, 20여종의 가스 소재에 대한 분석법 개발을 연차적으로 진행할 예정이다.

더불어 국내 업체들과 협의체를 구성해 숙련도 시험을 개최하는 등 국내 가스 소재 업체의 기술 자립화 지원에 힘쓸 전망이다.

박현민 원장은 “2019년 하반기부터 ‘일본 수출규제 적극대응 위원회’를 운영하며 소재, 부품, 장비에 대한 신뢰성 평가기술 등을 지원해 왔다”라며 “KRISS가 가진 세계 최고 수준의 측정기술을 바탕으로 관련 산업의 국가 경쟁력 향상에 이바지하겠다”라며 강한 의지를 표명했다.

한편, 이번 시험서비스는 KRISS 표준성과한마당에서 신청할 수 있다.

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