경기도 차세대융합기술연구원이 보유한 연구장비. /사진제공=용인시시는 반도체 소·부·장 기업 육성과 기술 경쟁력 강화를 위해 지난 4월부터 관내 기업을 대상으로 '반도체 소부장 실증화 장비 사용료' 지원신청을 받았다. 지난달 31일 용인시 보조금관리위원회 심의를 열고 장비 사용료를 지원할 기업 4곳을 최종 선정했다.
㈜테스와 디에스이테크㈜는 반도체 장비를 생산하고, 엠케이전자㈜는 반도체 후공정에 사용되는 부품을 제조한다. ㈜이엔에프테크놀로지는 반도체 제조 공정에 쓰이는 식각액, 신너, 현상액 등 특수 화학제품을 생산한다.
시 관계자는 "이번에 장비 사용료를 지원받게 된 기업들이 연구기관의 첨단 인프라를 활용해 자사의 기술력을 높일 수 있길 기대한다"면서 "앞으로도 반도체 소·부·장 기업의 R&D를 지원할 수 있는 다양한 사업을 발굴하고, 많은 기업이 혜택을 받을 수 있도록 사업 확대를 위해 노력하겠다"고 말했다.
