이날 행사에 안순철 단국대 총장, 김오영 교학부총장, 구용서 차세대반도체사업단장, 강정원 반도체전문인력양성사업단장과 황준기 용인제2부시장, 이상기 DB하이텍부사장, 안기현 반도체산업협회 전무이사 등이 참석했다.
DKU 클린룸 센터는 대학원동 6층에 연면적 926㎡로 조성됐다. △클린룸 △분석계측실 △공정실습실1·2 △가스저장실 △장비분석실 △강의실 등을 갖췄다. 설계부터 소자와 공정, 테스트, 후공정까지 반도체와 관련된 이론·실습 교육이 모두 가능하다.
각종 첨단 장비 또한 눈에 띈다. △반도체 소자의 전기적 특성 평가 및 분석 장비 '프로브스테이션 및 반도체칩 특성 평가 장비' △시료의 표면 특성을 나노 단위로 분석하는 '고해상도 주사형 원자력 현미경' △고에너지 자외선 I-line을 사용해 Mask에 새겨진 회로 패턴을 웨이퍼 표면에 형성하는 '6인치 웨이퍼 UV노광장비' △전자 빔으로 재료를 증발시켜 웨이퍼 박막을 증착하는 '고에너지 전자빔 박막 증착기' △고온으로 재료를 증발시켜 기판에 박막을 증착하는 '진공열 증착기' △웨이퍼를 짧은 시간 고온에 노출해 물리·화학적 변화를 유도하는 '급속 열처리 시스템' △플라즈마로 이온화된 가스를 타깃에 충돌시켜 박막을 증착하는 '스퍼터 시스템' △플라즈마를 활용해 화학반응을 일으키고 물리적 충돌로 박막을 식각하는 '반응성 이온 식각 시스템' 등이다.
단국대는 반도체 메가 클러스터가 들어서는 용인에서 산학협력 현장 실무형 교육과정을 운영한다. 기업들은 센터의 기술과 장비 솔루션을 통해 설계부터 후공정에 이르기까지 최적화된 지원을 받을 수 있다.
아울러 오는 2027년까지 3단계에 걸쳐 클린룸을 고도화할 계획이다. 70여종 이상의 공정·계측 설비를 구축해 24시간 운영한다. 다음달에는 기업과 연구기관을 위한 'DKU 클린룸 센터' 장비 예약시스템이 도입된다.
안 총장은 "단국대는 국내 대학 최고 수준의 반도체 클린룸을 구축했다. 현장 맞춤형 반도체 인재를 양성하는데 박차를 가할 것"이라며 "반도체 메가 클러스터가 조성되는 경기 남부권에 지산학연을 잇는 차세대 반도체 R&D 허브로 발전시키겠다"고 강조했다.
한편 단국대는 반도체 분야 핵심인재를 양성하기 위해 '차세대반도체사업단'을 창단했다. 또 융합반도체공학과(학부), 파운드리공학과(대학원) 등을 신설해 반도체 특화 교육을 실시하고 있다. △반도체소부장혁신융합대학사업 △첨단산업인재양성부트캠프사업 △반도체전공트랙사업 등 다수의 정부지원 사업도 수행 중이다.
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