와이씨켐, 6월 반도체 웨이퍼 세정장비 첫 공급 기대

반도체 정밀화학 소재 전문 기업인 와이씨켐은 오는 6월 반도체 웨이퍼 특수 세정장비를 국내 반도체 기업에 공급할 계획이라고 27일 밝혔다.

와이씨켐이 개발한 웨이퍼 특수 세정장비는 싱글워터 타입과 배치(batch) 타입 두 방식 모두 가능한 하이브리드 세정장비다. 또 다른 반도체 관련 기업과도 현재 수주 협상을 진행 중이라고 회사 측은 설명했다.

회사 관계자는 "반도체 고집적화에 따른 웨이퍼 세정의 중요성이 커지고 미세 오염 물질 제거가 반도체 수율에 미치는 영향이 높아지고 있다"며 "반도체 특수 세정장비를 매출 포트폴리오 다변화를 위한 신사업으로 성장시킬 방침"이라고 말했다.

와이씨켐은 반도체 웨이퍼 세정장비와는 별개로 현재 고선택비 인산 농도 분석 장비도 개발 중이다. 이 장비는 반도체 제조 라인에서 실시간 고선택비 인산 농도를 분석해 교체 시간을 알려준다.

이 관계자는 "고선택비 인산 농도 분석 장비는 아직까지 양산에 적용된 사례가 없다"며 "현재 개발을 완료한 뒤 내부 테스트 중으로, 국내 첫 상용화 및 연내 글로벌 고객사의 현장 테스트를 위해 노력하고 있다"고 말했다.