NST, ‘반도체 플라즈마 융합연구단’ 선정

국가과학기술연구회(NST)가 올해 융합연구단사업으로 국가핵융합연구소가 주관하는 ‘반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술개발 및 실증 과제’(이하 플라즈마 융합연구단)를 선정했다고 13일 밝혔다.

플라즈마 융합연구단은 NST 소관의 국가핵융합연구소, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 한국표준과학연구원과 서울대, 부산대, 충남대, 전북대, 명지대, 가천대, 한국항공대 등 7개 대학의 반도체 장비 산업 관련 연구인력 100여명이 참여한다.

연구단은 반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증을 최종 목표로 6년 간 440억 원이 투입된다. 오는 11월 1일부터 군산시에 위치한 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터에서 연구를 진행한다.

플라즈마 융합연구단 윤정식 단장(국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터장)은 “반도체 제조 공정장비 지능화 기술에 대한 R&D(연구·개발) 테스트 베드를 구축해 국산 장비의 글로벌 경쟁력을 높이고, 세계 시장 점유율을 확대해 나갈 것”이라고 말했다.