한국 '탈일본' 속도에 놀란 일본, 6개월만에 불화수소 수출 허가

모리타화학공업 6개월 만에 수출

SK하이닉스 반도체 원판(웨이퍼) / 사진제공=SK하이닉스

일본이 반도체 재료 수출 규제를 서서히 풀고 있는 것으로 나타났다. 그러나 한국이 국내외에서 대체품을 마련하고 있어 일본 내에서는 수출량이 완전히 회복될 수 있을지 우려하는 목소리도 나온다.

10일 니혼게이자이신문에 따르면 모리타화학공업은 지난 8일, 일본정부의 허가를 얻어 반도체 생산에 사용되는 고순도 불화수소(액체)를 한국에 수출했다. 6개월 만의 일이다.

일본 정부는 지난해 7월부터 불화수소, 플루오린 폴리이미드(불화 폴리이미드), 포토레지스트 3가지 품목에 대해 한국 수출 관리를 강화해왔다. 모리타화학은 지난해 12월24일자로 수출 허가를 얻었다. 고순도 불화수소는 액체 상태로 반도체 웨이퍼 세정에 사용된다.

고순도 불화수소는 모리타화학과 스텔라케미파 등 일본 제품이 세계시장의 80~90%를 점하고 있다. 스텔라케미파는 지난해 가을, 일본 정부의 허가를 받아 액체 고순도 불화수소를 한국에 수출한 것으로 알려졌지만 당시 회사는 "수출 허가를 받았는지 확인해줄 수 없다"고 했다.

모리타화학은 한국 시장의 3분의1을 점하고 있다. 삼성전자, SK하이닉스 등 반도체 생산 기업에 공급하고 있었다. 모리타 야스오 사장은 지난해 니혼게이자이신문과의 취재에 응해 "(수출 관리의 강화는) 일본 기업의 시장 점유율을 하락시킬 것"이라고 우려한 바 있다.

일본 수출 규제에 대응해 우리나라 정부 및 기업은 국내외에서 대체품을 개발하고 있다.

산업통상자원부에 따르면 글로벌 화학소재 기업 듀폰은 '극자외선(EUV)용 포토레지스트' 생산 공장을 국내에 건설할 예정이다. 한국 정부는 공장 유치를 위해 투자 부지를 외국인투자지역으로 지정하고 임대료를 감면하는 등 인센티브를 제시했다.

EUV 포토레지스트 역시 JSR, 신에쓰, 도쿄오카공업(TOK) 등 일본 기업이 세계 시장의 90% 이상을 점유하고 있다.

니혼게이자이신문은 "기술적인 문제도 있어 조기에 대폭 대체하기는 어려울 것으로 보이지만, 모리타화학 담당자는 '수출량이 이전 수준으로 회복될지는 예상할 수 없다'고 했다고 보도했다.