日업체 독점한 LCD제조 핵심기술 'ESC' 국산화 성공

[2014 창조기술대상]우수상(기술보증기금이사장상)-코리아스타텍

코리아스타텍은 'LCD(액정표시장치) 공정 드라이 에칭(Dry etching·건식 식각) 장비의 고해상도 ESC(정전척) 하부전극 개발'로 산업통상자원부와 중소기업청이 주최하고 머니투데이가 주관한 '2014 창조기술대상'에서 기술보증기금 이사장상을 수상했다.

ESC(Electro Static Chuck·정전척)란 반도체나 LCD·OLED(유기발광다이오드) 제조 장비의 진공챔버 내부에 기판이 놓이는 곳이다. 드라이 에칭 공정에서 정전기를 이용해 기판을 하부 전극에 고정시키고 기판의 온도를 높이거나 냉각시켜 주는 핵심 부품이다.

김부일 코리아스타텍 대표이사

LCD 원판을 제조하려면 유리 기판에 회로를 설계하고 남은 찌꺼기를 제거할 식각장비(에처)가 필요하다. 이 식각장비 내에는 LCD 원판을 받칠 하부 전극이 있다. 원판과 하부 전극은 맞닿으면서도 사실은 미세하게 거리를 두고 서로 떨어져야 한다. 하지만 LCD 원판이 대형화 추세로 점점 커지면서 넓은 간격을 균일하게 띄워 줄 기술이 필요하게 됐다. ESC는 바로 이 간극을 세라믹 용사 코팅층을 이용해 일정하게 유지해주는 기술이다.

일본의 세계적인 반도체 제조장비 기업 TEL(도쿄일렉트론)은 ESC 제조 기술을 바탕으로 드라이 에칭 장비를 독점 개발해 삼성과 LG 등 국내 대기업에 독점적으로 팔아왔다. 독점 공급에 따른 가격 프리미엄은 상당히 형성될 수밖에 없다. 또 소모품이기 때문에 수명이 다하면 재생하거나 고가임에도 다시 수입해야 한다는 게 더 큰 문제다.

이러한 문제 때문에 정부는 LCD 원판을 순수 우리기술로 만들기 위해 국책과제로 지정했다. LG와 삼성도 자본참여 방식으로 공동개발에 합류해 2년 반동안 100억원의 개발비를 들여 2007년 ESC의 첫 국산화에 성공했다. 하지만 기술개발을 주도했던 단성일렉트로닉의 경영난으로 해당 기술을 이어 받은 코리아스타텍은 2008년 10월 추가 기술개발에 돌입했다. 그동안 쌓은 용사코팅 노하우와 연마 공정 등을 자체 개발, 2009년 삼성전자의 7,8라인을 필두로 전라인 승인을 받아 양산화하는데 성공했다.