이번에 양수한 특허권은 식각 장치 이외에 막질 개선을 위한 반도체 제조용 진공장치, 웨이퍼 습식 처리 장치 및 그 세정 방법, 플라즈마 처리 장치, 건식식각설비의 식각량 제어 장치 등이다.
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테스, 삼성전자로부터 특허 5건 양수
머니투데이 백진엽 기자 | 2008.10.02 10:36
테스는 2일 삼성전자로부터 반도체 제조용 건식 식각 장치 및 이를 이용한 식각량 모니터링 장치 등 총 5건의 특허권을 양수했다고 공시했다.
이번에 양수한 특허권은 식각 장치 이외에 막질 개선을 위한 반도체 제조용 진공장치, 웨이퍼 습식 처리 장치 및 그 세정 방법, 플라즈마 처리 장치, 건식식각설비의 식각량 제어 장치 등이다.
이번에 양수한 특허권은 식각 장치 이외에 막질 개선을 위한 반도체 제조용 진공장치, 웨이퍼 습식 처리 장치 및 그 세정 방법, 플라즈마 처리 장치, 건식식각설비의 식각량 제어 장치 등이다.