디엠에스는 대만 칭화픽처튜브(CPT)로부터 270억원 규모의 LCD 노광공정 장비인 감광액 도포장비(PR코터)를 수주했다고 16일 밝혔다.
노광공정은 필름에 빛을 가해 인화지 위에 형상을 만드는 사진 인화 과정과 같은 방식으로 LCD 공정에서 회로도가 그려진 포토마스크(필름)에 빛을 가해 감광액(PR)이 입혀진 유리기판(인화지) 위에 회로 패턴을 형성하는 과정이다. 디엠에스는 노광공정에서 감광액을 유리기판 위에 고르게 입히는 감광액 도포장비(PR코터)를 6세대 라인 공급용으로 수주했다.
6세대 라인은 가로와 세로 길이가 각각 1500㎜와 1850㎜인 유리기판을 다루는 LCD 공장으로 기판 1장에서 94㎝(37인치)와 81㎝(32인치) 크기 LCD를 각각 6대와 8대 생산할 수 있다. 6세대 라인은 특히 51㎝(20인치) 이하 모니터와 노트북 등 IT용 LCD를 생산할 경우 효율성이 높다는 평가다.
디엠에스는 LCD 유리기판 위에 불순물을 제거하는 세정장비(HDC)를 비롯, 노광을 마친 유리기판을 현상하는 현상장비(디벨로퍼), 유리기판 위에 불필요한 부분을 깎아내는 습식 식각장비(
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