유니셈, 전자식 팽창밸브 관련 특허취득

머니투데이 최석환 기자 | 2007.08.20 14:00
반도체 제조용 기계 제조업체인 유니셈은 20일 칠러 장치의 전자식 팽창밸브 제어 방법과 관련된 특허를 취득했다고 공시했다.

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