[더벨]위지트, 국내 최초 반도체부품 친환경 세정 기술 특허

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위지트 가 국내 최초로 반도체·디스플레이 제조장비의 핵심부품 재사용을 위한 친환경 세정 방법에 대한 특허를 출원했다고 24일 밝혔다.

위지트에 따르면 이번 특허기술은 △종래 기술에 비해 대폭 단축된 세정 시간 △세정 과정에서 발생하는 제품의 손상 방지 △인체에 무해한 친환경 물질로 완전한 세정을 하는 것이다.

반도체와 디스플레이 제조공정에 사용되는 부품은 고주파 플라즈마와 에칭 가스에 노출되기 때문에 내플라즈마성이 우수한 피막을 형성해 보호하고 있다. 또 제조공정 중 발생하는 미세 오염을 제거하고, 고가의 공정 장비 부품을 재사용 할 수 있도록 재생작업을 필요로 한다. 현재 재생작업에 적용되는 세정방법은 공정이 복잡하고, 작업 시간이 많이 소요된다. 위지트의 특허 기술은 제조사들의 생산원가 절감 효과를 불러올 수 있다는 게 회사 측 설명이다.

위지트 관계자는 "이번 특허기술로 세정 제품에 대한 신뢰성은 높이고 생산 비용은 낮출 수 있게 됐다"며 "앞으로도 지속적인 연구개발을 통해 반도체 및 디스플레이 소부장(소재·부품·장비) 시장에서 선도적인 역할을 다하겠다"고 말했다.

한편 위지트는 반도체와 디스플레이 제조공정에 적용되는 장비의 소모성 부품을 생산해 국내외 반도체·디스플레이 제조사에 공급하고 있다. 반도체 및 디스플레이 장비 부품 제조에 관한 19건의 특허를 보유하고 있다. 지난해에는 첨단 메모리반도체(D램, 낸드플래시, 고대역폭메모리) 소재 및 부품을 제조하는 '국가전략기술' 사업화 시설로 지정받기도 했다.