예스티는 경쟁사가 보유한 고압 어닐링 장비 특허권이 특허법에서 정한 신규성 및 진보성 요건을 갖추지 못했다고 판단해 신규로 무효심판을 제기했다. 이와 함께 예스티는 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비가 경쟁사의 특허와 무관하다는 사실을 입증하기 위해 권리범위확인심판도 청구했다.
예스티는 지난 9월 국내 한 반도체 장비 기업의 특허소송 제기로, 고압 어닐링 장비에 대한 특허분쟁을 진행하고 있다. 예스티는 지난달 분쟁의 기초가 된 경쟁사의 특허에 대해 무효심판을 청구하는 등 특허소송에 적극적으로 대응 중이다.
예스티는 글로벌 반도체 기업들과 고압 어닐링 장비에 대한 상용화 및 양산 테스트에 속도를 내고 있다. 경쟁사와의 특허분쟁에도 불구하고 고객사와 상용화를 전제로 한 테스트가 차질 없이 진행되고 있다는 게 회사 측의 설명이다.
이 관계자는 "개발 단계부터 특허분쟁을 예상하고 충분한 검토를 거쳤기 때문에 특허분쟁에서 승소를 자신한다"라며 "고객사와의 상용화 테스트에 회사의 역량을 집중해 양산 시기를 최대한 앞당기겠다"라고 강조했다.