中, ASML 대체 정말 성공? "28나노 노광장비 곧 생산" 현지보도

서방 반도체 장비 수출 통제 속 기술 독립 여부 주목

SMEE의 저사양 노광장비/사진=바이두

중국 기업이 반도체 28나노(1나노(nm)=10억분의 1m) 노광장비를 개발하고 연말께 상업 생산이 가능하다는 현지 보도가 나왔다.

2일 관영 환구시보 영자지 글로벌타임스는 증권일보 보도를 인용, 현지 기업 SMEE가 28나노 노광장비 개발에 전념한 끝에 중국 최초로 SSA/800-10W 개발에 성공하고 연말 출시가 예상된다고 전했다.

노광장비는 극자외선(EUV) 등을 활용해 반도체 원재료 기판인 웨이퍼에 미세 회로를 새긴다. 회로를 새기면 화학 약품을 뿌려 회로 이외 부분을 녹여 벗겨낸다. 미세 공정 반도체 생산에 꼭 필요한 장비로 대체할 만한 기술이나 장치가 현재로서는 없다.

해당 장비는 세계에서 유일하게 네덜란드 ASML이 생산한다. 네덜란드는 미국 요청을 받아들여 오는 9월부터 ASML을 포함한 반도체 생산 설비를 수출할 때 정부 허가를 받도록 조치했다.

이 장비가 없으면 스마트폰 애플리케이션 프로세서(AP) 같은 반도체를 개발하기 어렵다. SMEE가 판매하는 노광장비는 기껏해야 90나노급에 그치는 형편이다.

발등에 불이 떨어진 중국은 장비 국산화를 서둘렀지만, 진척은 더뎠다. SMEE가 28나노급 심자외선(DUV) 노광장비를 출시할 거라는 관측은 2020년부터 나왔지만 구체적 성과는 없었다.

글로벌타임스는 "수입 칩 1개당 비용이 20위안(약 3600원)이지만 자체 생산을 하면 200위안에 달한다"며 "그러나 시장 위험(수출 제한)을 줄이기 위해 자체 칩 사용을 선호하는 중국 기업들을 저지하지 못할 것"이라고 보도했다.


SMEE 개발 소식이 사실인지를 확인하는 데는 시간이 필요해 보인다. 증권일보 보도 이후 어떤 언론 매체의 사실 확인 요청에도 응하고 있지 않아서다.

중국에 대한 반도체 공급망 조이기는 강도 높게 진행되고 있다. 네덜란드에 더해 일본이 지난달 23일부터 노광·세정 장비 등 23개 품목 수출 통제에 나섰다. 미국, 한국, 대만 등 반도체 핵심 국가를 포함한 42개국을 제외한 나라들이 대상이다. 중국은 42개국에 포함되지 않았다.