맥봇, 세미콘코리아 '반도체 공정 로봇 자동화 솔루션' 첫선

'맥봇 로봇 자동 툴체인져'를 활용한 반도체 이송 공정 로봇 자동화 솔루션을 선보이고 있다/사진제공=유엔디

산업 자동화 솔루션 전문기업 삼익THK(회장 진영환)가 오는 11일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 반도체 전시회 '2022 세미콘코리아'에서 유엔디(대표 이철수)의 '반도체 공정 로봇 자동화 솔루션'을 처음으로 공개한다.

삼익THK는 유엔디(대표 이철수)와 지난해 7월 공식 대리점 계약을 체결한 바 있다. 유엔디는 세계 최초로 완전 무선 로봇 자동 툴체인져 '맥봇'을 상용화한 업체다.

삼익THK는 이번 박람회에서 유엔디의 '맥봇 로봇 자동 툴체인져'를 활용한 반도체 이송 공정 로봇 자동화 솔루션을 선보인다. 이 솔루션은 로봇이 스스로 공정 툴을 교체해 자동화, 무인화, 생산성 향상을 이룬 혁신 시스템이다.

이철수 유엔디 대표는 "기존에는 로봇 1대로 1가지 공정을 이행했다"면서 "유엔디의 협동 로봇은 1대로 테스트 지그 검사 공정, 웨이퍼 이송 공정 등 총 2가지 공정을 이행한다"고 설명했다.

이 대표는 이어 "삼익THK와 협업해 국내 반도체, 디스플레이, 배터리, 스마트폰 등 다양한 산업에 맥봇의 로봇 툴 체인져 솔루션을 확대 공급하겠다"고 말했다.