그래핀랩은 그래핀 소재를 활용해 반도체·디스플레이 부품 개발에 매진해 온 업체다. 지난 7월 한국전자기술연구원(KETI)과 EUV 펠리클 관련 계약을 체결하고 펠리클 부품 국산화를 위한 '그래핀 초박막 성장 기술 분야 공동 연구 협력' '그래핀 관련 신기술 공동 연구' '인력 교류' 등을 진행 중이다.
업체 관계자는 "EUV 펠리클은 5㎚ 및 3㎚ 이하 공정에 필수로 사용되는 부품"이라며 "현재 그래핀을 적용한 EUV 펠리클의 양산 사례는 전 세계에서 전무하다"고 말했다. 이어 "생산현장에서 만족할 만한 사양의 펠리클을 개발한 기업도 드문 상황"이라며 "이번 기술 개발은 펠리클 시장을 선도할 발판이 될 것으로 기대한다"고 했다.
기존 ArF 노광 공정과 EUV 노광 공정 프로세스 비교/사진제공=그래핀랩
업체 관계자는 "그래핀랩은 그래핀 원천 특허를 보유한 회사로, 그래핀 사용 공법으로 EUV 펠리클 소재를 개발하기 위해 오랜 기간 R&D(연구·개발)에 공들여왔다"며 "그래핀 박막 형성 관련 특정 공정에서 쓰이는 약품에 대해 업계 최고 기술력을 보유한 와이엠티㈜와의 협력으로 펠리클에 적합한 그래핀 박막을 개발했다"고 말했다. 이어 "5㎚ 이하 노광 공정에서 사용될 펠리클을 생산할 수 있는 전체 양산 기술의 확보도 앞두고 있다"고 덧붙였다
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한편 그래핀랩에 따르면 펠리클 시장은 2023년 약 4.5조원 이상의 시장을 형성할 전망이다. 국내 시장만 약 1조원 이상일 것으로 예상된다. 이에 전 세계 관련 기업들이 5㎚·3㎚ 공정 진입 및 양산을 위해 개발에 총력을 기울이고 있다.