젬백스, TSMC 양산설비 필터 수주

젬백스 가 세계 파운드리(반도체 위탁생산) 시장점유율 최대 업체인 TSMC로부터 ArF(불화아르곤) spinner 용 케미컬 에어 필터(CA Filter)를 수주했다고 8일 밝혔다.

젬백스는 지난달 TSMC가 신규로 설치한 일본 TEL(Tokyo Electronic Ltd.) 사의 최신식 EUV(Extreme Ultra Violet) 스피너용 장비에 적용될 필터를 테스트하기 위하여 시제품을 단독으로 납품했다고 밝힌 바 있다. 이번 공급은 진행중인 시제품 테스트와는 별개로 타이난(Tainan)에 소재한 F14 양산(Mass production)형 Fab에서 가동 중인 기존 ArF 용 장비에 유상으로 공급한다는 것에 의미가 있다.

TSMC는 신주의 실험센터 F12를 포함하여, 타이난에 F14와 F18 타이중에 F15 등 총 4의 Fab에서 300MM(12인치) 웨이퍼 Fab을 가동하고 있으며, 젬백스는 시제품을 포함하여 2개의 Fab에 납품하게 되었다. 현재 신주 실험센터에서 진행 중인 테스트가 성공적으로 마무리되면 타이난에 소재한 또 다른 양산형 Fab인 F18로 공급이 확대되어 총 4기의 300MM 웨이퍼 Fab 중 3개의 Fab에 납품을 하게 된다.

젬백스 관계자는 "이번 납품을 시작으로 TSMC의 모든 300MM 웨이퍼 Fab의 모든 장비용 필터로영역을 확대하고 장기적으로는 시설(Facility)용 필터까지 납품하는 것을 목표로 TSMC와의 신뢰관계를 형성하고자 한다"고 말했다.