이엠아이티, '플라즈마 클리닝 시스템'으로 소부장 선도

[2021 코리아 이노베이션 어워즈] 기술혁신대상(소재·부품·장비 부문)

김재동 이엠아이티 대표(사진 가운데)가 김정연 이사와 김용구 차장과 함께 '2021 코리아 이노베이션 어워즈'에서 '기술혁신대상'을 수상하고 기념사진을 찍고 있다/사진제공=이엠아이티

이엠아이티(대표 김재동)는 플라즈마 기술을 이용해 '플라즈마 클리너'(Plasma Cleaner)를 개발·생산하는 반도체 장비 제조기업이다. 독자 기술을 바탕으로 소재·부품·장비(소부장) 업계에서 두각을 나타내고 있다.

'플라즈마 클리닝'이란 반도체 웨이퍼, 진공 챔버 내부, 의료용 기기 등의 유기물 오염을 플라즈마를 이용해 제거하는 것을 말한다.

이엠아이티는 전자현미경 챔버 내부의 오염물질을 제거하는 '챔버 클리너'(Chamber Cleaner)와 진공 부품, 반도체 웨이퍼, 의료용 기기의 오염물질을 제거하는 '시료 클리너'(Specimen Cleaner)를 생산·판매하고 있다. 특히 챔버 클리너의 한 종류인 '투과형 전자현미경 클리너'(TEM Cleaner)는 이엠아이티의 특허로서 업계에서 유일하게 상용화에 성공한 것이다.

김재동 이엠아이티 대표는 "시료 클리너는 플라즈마 환경에서 '산소 라디칼'(oxygen radical)과 '자외선 파장'(UV wavelength)을 이용해 이중 구조로 클리닝이 이뤄지도록 설계돼 있다"면서 "이를 통해 눈에 보이지 않는 오염된 부분까지 깔끔하게 제거할 수 있다"고 설명했다.