엑시콘은 "챔버의 전체 내부 공간에 균일한 온도가 유지되고 챔버 내의 모든 반도체 메모리 모듈이 골고루 일정한 온도의 에어를 전달 받도록 함으로써 테스트 정보의 신뢰성을 향상시킬 수 있다"며 "이 특허를 장비 성능 향상과 신제품 개발에 적용할 예정"이라고 밝혔다.
엑시콘, 반도체 메모리 모듈 에이징 검사장치 특허 획득
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엑시콘 (25,150원 ▼300 -1.18%)이 엑시콘산학공동연구소와 반도체 메모리 모듈의 에이징 검사 장치 국내 특허를 취득했다고 10일 공시했다.
엑시콘은 "챔버의 전체 내부 공간에 균일한 온도가 유지되고 챔버 내의 모든 반도체 메모리 모듈이 골고루 일정한 온도의 에어를 전달 받도록 함으로써 테스트 정보의 신뢰성을 향상시킬 수 있다"며 "이 특허를 장비 성능 향상과 신제품 개발에 적용할 예정"이라고 밝혔다.
엑시콘은 "챔버의 전체 내부 공간에 균일한 온도가 유지되고 챔버 내의 모든 반도체 메모리 모듈이 골고루 일정한 온도의 에어를 전달 받도록 함으로써 테스트 정보의 신뢰성을 향상시킬 수 있다"며 "이 특허를 장비 성능 향상과 신제품 개발에 적용할 예정"이라고 밝혔다.
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