삼성전자, 반도체 공정에 '국산 불화수소' 첫 투입

지난 7월 수출규제 이후 두달 동안 테스트 진행…LGD도 국산소재로 대체, 양산 적용

삼성전자 가 반도체 공정에 사용하던 일본산 액상 고순도 불화수소 일부를 국산소재 등으로 대체한 것으로 3일 확인됐다.

일본 정부의 수출규제로 두달 가까이 일본산 고순도 불화수소 공급이 사실상 차단되자 민감도가 낮은 공정부터 대체에 나섰다는 설명이다.

삼성전자는 지난 7월 4일부터 일본 정부가 고순도 불화수소 등을 수출규제하자 국내 업체가 생산하는 소재 등을 대상으로 대체 여부 등을 테스트해 왔다.

고순도 불화수소는 반도체 제조공정에서 실리콘웨이퍼에 새겨진 회로에 따라 불필요한 부분을 제거(식각)하는 데 쓰인다.

삼성전자 외에 LG디스플레이도 국산 불화수소를 최근 디스플레이 제조공정에 투입했다.