日 불화수소 韓 수출 83.7% '급감'…규제여파

29일 일본 재무성 발표…반도체 식각 공정에 쓰이는 고순도 불화수소 지난달 수출량 479톤

/사진=AFP

반도체 제작의 핵심소재로 여겨지는 일본 고순도 불화수소(에칭가스)의 한국으로의 7월 수출 물량이 전월 대비 80% 넘게 줄어든 것으로 파악됐다. 지난 한 달 간 일본에서 수출 심사 절차를 강화한 여파로 해석된다.

29일 교도통신에 따르면 이날 오전 일본 재무성이 발표한 7월 무역통계에서 일본 정부가 지난달 수출 심사를 강화한 품목 중 하나인 고순도 불화수소(에칭가스)의 한국으로의 수출량이 전월 대비 83.7% 감소한 479톤으로 집계됐다.

또 아사히신문 등에 따르면 해당 품목의 전체 수출액은 전월 대비 32.6% 줄어든 4억97만엔(약 46억원)으로 집계됐다. 해당 품목에 대한 대(對) 한국 수출액은 지난 한 해 동안 월 평균 5~7억엔으로 추정된다는 보도다.

일본 정부는 지난달 4일부터 반도체 및 디스플레이 핵심 소재 중 3품목인 고순도 불화수소, EUV(극자외선) 파운드리(반도체 위탁생산)용 포토레지스트(감광재), 플루오린 폴리이미드 등에 대해 수출심사를 강화했다.

이중 EUV용 포토레지스트만 이달 7일과 19일 2차례 수출신청이 허가돼 국내에 반입된 것으로 보도됐다. 고순도 불화수소와 플루오린 폴리이미드의 경우 일본의 수출규제 이후 두 달 가까이 사실상 일본산 조달로가 막힌 상태다.

고순도 불화수소는 반도체 기판인 실리콘웨이퍼에 그려진 회로도에 따라 기판을 깎아내는 식각 공정에 쓰이는 핵심소재다. 삼성전자와 SK하이닉스가 반도체 칩 핵심공정에 투입하는 불화수소는 순도 99.999% 이상의 일본산 소재가 대부분인 것으로 알려졌다.

한편 교도통신에 따르면 재무성 측은 불화수소 이외 나머지 두 품목에 대한 통계는 내지 않은 것으로 알려졌고 해당 부서 관계자는 "불화수소만은 (수출규제로 인한 영향의) 경향을 파악하는 수단이 될 있다"고 설명했다.