中지진에 한국 반도체공장도 일시정지 됐다

미세진동도 감지되게 설계… 곧바로 재가동돼 생산 피해 없어

중국 쓰촨성의 대지진이 한반도 반도체 공장에까지 영향을 줬다.

19일 관련업계에 따르면 삼성전자 와 하이닉스 의 반도체 공장은 12일 지진 발생 당시 생산라인 주요 장비들이 경고음을 내며 일시적으로 동작을 멈췄다. 순간적인 멈춤이었고 곧바로 재가동해 생산에 피해는 전혀 없었다.

하지만 지난해 정전으로 라인이 멈춰 서는 사상 초유의 사태를 겪었던 삼성전자 담당자들은 가슴을 쓸어내렸다.

이날 순간적으로 멈춰섰던 장비들은 주로 스캐너로 포토마스크상의 회로를 웨이퍼에 새기는 역할을 한다. 미세 공정이기 때문에 아주 작은 진동에도 멈추도록 설계돼 있다. 중국에서 발생한 지진의 강도가 워낙 세다보니 사람은 느끼지 못한 진동을 기계는 감지한 것이다.

하이닉스도 마찬가지였다. 하이닉스 관계자는 "중국 지진 발생 당시 일부 장비가 미세 진동을 감지, 순간 정지했지만 곧바로 재가동시켰다"며 "라인에 피해는 전혀 없었다"고 밝혔다.

반도체 공장은 미세한 진동에도 생산에 막대한 차질이 발생할 수 있어 통상 강력한 내진 설계가 돼 있다. 리히터 규모 6.0~7.0 정도의 지진에도 피해가 없다는게 업계의 설명이다.

한편 반도체와 비슷한 공정을 거치는 액정표시장치(LCD) 공장에는 이상이 없었다. LG디스플레이 는 장비가 미세한 진동을 감지하기는 했지만 생산에 영향을 줄 정도가 아니어서 정상적으로 가동됐다고 밝혔다. 삼성전자도 LCD 공장에는 이상이 없었다고 설명했다.